"우리업체는 세계 반도체 시장을 이끌고 있는 국내 대기업이 기술력을 인정한 반도체 관련 장비 베이크 오븐 시스템(가열, Bake Oven System)과 칠링 시스템(냉각, Chilling System)을 개발.생산하는 업체 입니다. 국내 반도체 수요의 90%이상을 점유하고 있는 이들 업체가 인정한 제품이라면 세계적인 제품이라고 할 수 있겠죠."

반도체는 크게 6단계의 제조 공정을 거친다. 이 중 리소그래피(사진석판술) 공정을 거치는데 여기서 회로 선폭이 결정, 반도체 생산량이 좌우된다.

반도체 리소그래피 공정의 트랙 장비 핵심 모듈인 베이크 오븐 시스템(가열)과 칠링 시스템(냉각)을 자체 개발, 정밀하고 균일한 온도제어로 반도체 생산 극대화에 크게 이바지 할 것으로 기대되고 있는 업체가 있다.

지난해 8월 설립해 베이크 오븐 시스템인 Mica-Heater과 칠링시스템인 열전소자(Thermo Module)을 개발.생산하고 있는 (주)하나기술(대표 임영완).
반도체는 웨이퍼(CD모양의 반도체 원판)를 가열.냉각 시켜 회로도를 삽입, 웨이퍼가 잘게 잘려져 탄생(?) 하는데, 이 과정에서 웨이퍼를 가열.냉각 시키는 장비의 핵심이 베이크 오븐 시스템과 칠링 시스템이다.

반도체는 웨이퍼의 가열.냉각이 얼마나 정밀하고 균일하게 이뤄지느냐에 따라 불량 생산품의 증.감이 결정되는데, 지금까지 국.내외 기술로는 한 웨이퍼에서도 ±0.2℃이상의 오차를 보이고 있다.(150℃ 기준)

하지만 이 업체는 한 웨이퍼에서의 오차를 ±0.07℃로 줄이고, 기존 제품들의 4초대였던 속도를 1초대로 단축시킨 Mica-Heater과 열전소자를 자체 개발, 국.내외에서 주목받고 있다.(측정 : 하이닉스 연구소)

냉각시키는 시간(150℃->23℃)의 경우 기존 제품들은 42초대였으나 이 업체가 개발한 제품들은 24초대.

이 업체의 제품은 또 반도체 생산량이 8인치 웨이퍼 1대당 칩(선폭 0.12마이크로) 72개를 생산, 다른 업체 제품들의 최고 생산량인 47개 보다 월등히 앞선다.

그런데도 가격은 기존 업체 제품의 1/5 수준.

지난해 10월부터 베이크 오븐 시스템 일부를 개발, 지난 1월 완제품을 출시한 이 업체는 국내.외 반도체 업체에서 현재 거치고 있는 제품 검증만 끝나면 매출이 폭발적으로 증가할 것이라고 내다보고 있다.

이 업체가 거래 하고 있는 국내.외 주요 반도체 업체는 10여개.

이 업체는 오는 10월말 국내 한 업체의 제품 검증 결과에 따른 수주 계약을 시작으로 계약이 폭증할 것으로 보고 올해 30억여원, 내년 80억여원, 그리고 오는 2005년에는 최소 200억여원 이상의 매출 성장을 이룰 것으로 기대하고 있다.

이 업체는 또 현재 일본 모 반도체 업체와 RHP 공동 개발, 내년 상반기에 완제품을 출시 할 예정이다.

이 제품의 경우 리소그래피 공정에서 필요한 베이크 오븐 시스템의 수를 1/2이상 줄여 제품 원가 절감에 크게 기여할 것으로 기대되고 있다.

(주)하나기술 임영완(36) 대표는 "우리 제품들은 자체 개발로 기능은 물론이고 가격경쟁력에서 매우 뛰어나다"며 "일본과 대만 등 해외 시장을 집중 공략해 세계 반도체 업계의 일인자가 될 것"이라고 말했다.


인터뷰/ (주)하나기술 임영완(36) 대표

- (주)하나기술에서 개발하는 제품의 시장 규모와 전망은.

베이크 오븐 시스템의 경우 지난해 3,500억원 정도에서 올해 3,800억원, 오는 2005년에는 4,500억원 정도의 세계시장규모를 갖출 것으로 보인다.

또 칠링 시스템은 지난해 1,200억원에서 내년 1,400억원, 오는 2005년에는 1,500억원 정도로 예상된다.

전체 반도체 시장 규모에 비하면 작은 규모이지만 세계 반도체 시장을 이끌고 있는 국내에서 이 제품들을 개발하는 업체는 2개사 정도이며 세계적으로도 손가락에 꼽을 정도다.

지금까지 반도체의 생산을 보면 8인치 웨이퍼를 기준으로 생산할 때 불량품이 5~10% 발생하고 있다. 이 손실을 얼마나 줄이느냐가 앞으로 기술력을 인정받고 성장하는데 관건이 될 것이다.

- (주)하나기술이 개발한 제품들의 경쟁력은.

베이크와 칠링 시스템의 가장 중요한 것은 정확하고 균일한 온도다. 균일 온도 오차가 ±0.15℃이하만 되도 0.12마이크로 선폭 생산이 35%이상 증가한다.

현재 베이크 오븐 시스템 시장은 일본과 독일, 미국이 장악하고 있는데 우리 제품은 이들 제품보다 월등히 앞선 정밀함과 균일함을 지니고 있다.

가격도 이들 제품에 비해 1/5정도 수준에 그치고 있어 성능이나 가격 경쟁력이 크게 앞서고 있다.

- 앞으로 계획은.

우선 제품들에 대한 유통에 주력하고 있다. 그렇지 않아도 성능 검증결과가 대기업 한 두 곳에서만 나와도 업계 소문으로 크게 성공할 수 있다.

이번 달 말 한 곳에서 검증 결과가 나오는데 크게 기대하고 있다.

또 올해 말이나 내년 상반기에 출시할 RHP 개발을 위해 일본 모 업체와 지속적인 긴밀 관계를 유지하면서 신제품 개발에 힘 쏟을 것이다.

오는 2005년까지 계획대로 매출이 오르면 코스닥에 상장, 회사 규모를 더욱 넓힐 예정이다.